Fabricación de microrrobots: MEMSLAB de la Universidad de Extremadura

Abstract

[Resumen] La microrrobótica es un campo emergente de investigación con innumerables aplicaciones en el ´ambito de la industria, la biología y la medicina. A pesar de los avances en el campo, todavía existen retos considerables entre los que se encuentra el de la fabricación de robots a escala micrométrica. La fabricación de microrrobots se beneficia de los avances en la fabricación de sistemas microelectromecánicos (MEMS). En este trabajo se presentan los equipos que forman el laboratorio de fabricación de MEMS de la Universidad de Extremadura (UEX), así como ejemplos de fabricación de microrrobots que se han realizado.

[Abstract] Microrobotics is an emerging field of research with countless applications in industry, biology and medicine. Despite advances in the field, there are still considerable challenges including that of micrometer-scale robot manufacturing. The fabrication of microrobots benefits from advances in microelectromechanical systems (MEMS) manufacturing. This paper presents the equipment that forms the MEMS fabrication laboratory at Universidad de Extremadura (UEX), as well as examples of microrobot fabrication that have been carried out.